№ CN121318106A発明
有効一种石英环的沉积装置及方法
本发明公开了一种石英环的沉积装置及方法,包括沉积炉,所述沉积炉底部开设有开口,上部设有燃烧器,所述燃烧器设置有多个,并均匀的围绕沉积炉设置,所述沉积炉外端开设有废气排放口,所述废气排放口围绕沉积炉设置有多个,所述沉积炉下方设有空心支撑柱,所述空心支撑柱上设有圆环垫片,所述圆环垫片与燃烧器配合,本发明进一步设置为,所述沉积炉中设有圆柱体,所述圆柱体中开设有导气腔,所述导气腔两端开设有排废口,所述排废口与废气排放口配合,提供额外的排气结构,该设备可直接生成石英环,提高生产效率,减少材料浪费,降低生产成本。
❖广西神光光学科技有限责任公司胡涛涛; 吴海港; 石小强; 罗文柳; 耿喜乐§ 2/5 請求項C03B 20/00 (2006.01)