福建福晶科技股份有限公司

本申请提供光学元件的外形轮廓检测方法、系统、设备及存储介质，涉及光学设备检测技术领域。该方法包括：在待测光学元件放置于外形轮廓检测系统的测试位后，控制外形轮廓检测系统中的各振镜单元同步扫描对应侧表面；获取各侧表面上每个扫描点的光强度信号，对各侧表面上每个扫描点对应的光强度信号进行处理，得到各侧表面上每个扫描点对应的峰值波长；基于各侧表面上每个扫描点对应的峰值波长，得到各侧表面对应的三维点云；根据各侧表面对应的三维点云，得到待测光学元件的外形轮廓三维点云；对外形轮廓三维点云进行处理，得到待测光学元件的轮廓参数，实现了对待测光学元件的非接触式测量，避免了对光学元件表面造成二次伤害，提高了测量精度。