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一种防止开裂的玻璃基板结构与玻璃基板制法，所述玻璃基板结构包括具有一第一表面的一玻璃基板，设置于该第一表面上的一第一缓冲层，以及设置于该第一缓冲层上的一第一电路层；该第一缓冲层的一第一缓冲层开口暴露该玻璃基板的该第一表面，该第一缓冲层的一第一缓冲区设置于该第一缓冲层开口的边缘；该第一电路层包括一第一侧壁面和一第一内凹结构；该第一内凹结构自该第一侧壁面内凹形成，且该第一内凹结构暴露该第一缓冲区；该第一内凹结构可抑制玻璃基板产生影响该第一电路层的Seware缺陷裂痕。

本发明提供一种基板结构及其制作方法，所述基板结构包括核心层、绝缘层以及贯穿导电元件。核心层包括第一表面、第二表面以及通孔。第一表面与通孔的交界处具有第一转角。第二表面与所孔的交界处具有第二转角。核心层的材料具有第一杨氏系数。绝缘层包括分隔开且分别位于第一转角与第二转角上的第一绝缘部与第二绝缘部。绝缘层的材料具有第二杨氏系数，且第二杨氏系数小于第一杨氏系数。贯穿导电元件配置于绝缘层上与通孔内。

本发明提供一种衬底及其制造方法，所述衬底包括玻璃核心电路结构、第一覆盖层以及第一增层结构。玻璃核心电路结构包括玻璃块材以及垂直导电连接件。第一覆盖层嵌入在玻璃核心电路结构中。第一增层结构设置在玻璃核心电路结构上并与玻璃核心电路结构电连接。第一增层结构包括第一绝缘层，且第一覆盖层的杨氏模数小于第一绝缘层的杨氏模数。亦提供一种衬底的制造方法。本发明可改善衬底的可靠度。