广东国创科光电装备有限公司

本申请公开了一种涉及无监督学习的基板缺陷检测方法及其设备，该方法包括：对基板图像进行预设尺寸的滑动分割，得到多个子区域；相邻两个子区域无重叠；构建第一子区域的像素点图，像素点图由预设无监督学习模型对第一子区域进行缺陷检测后得到；第一子区域是多个子区域中任意一个子区域，像素点图包括任意一个像素点为基板缺陷的置信度值以及像素点在所述第一子区域中的位置坐标；构建第一子区域对应缺陷像素点图，以完成基板缺陷检测；缺陷像素点图由像素点图中置信度值大于或等于预设置信度值的像素点构建得到。本申请能够针对基板缺陷样本数量较少的情况，不使用缺陷样本进行基板缺陷检测。