常州九天未来微电子有限公司

本发明涉及X射线检测技术领域，公开了一种矩阵式定位的封装器件X射线检测装置，该装置包括检测腔体、X射线源、X射线探测器、XY程控移动平台、定位载具、屏蔽观察组件和切换孔径准直组件，XY程控移动平台安装于检测腔体内，处于X射线源与X射线探测器之间；屏蔽观察组件包括外环框架、屏蔽盘、前密封压盖、后密封压盖及齿轮传动副，屏蔽盘转动安装于外环框架中，前后密封压盖分别位于屏蔽盘外侧和内侧，且对应设置有第一密封圈和第二密封圈，齿轮传动副用于驱动屏蔽盘转动；切换孔径准直组件用于根据封装器件的尺寸切换不同的射线通道孔径。本发明实现氮气防泄漏，并驱动准直盘转动以切换匹配当前器件封装尺寸的射线通道。