№ CN121318398A発明
有効一种高导热稀土掺杂陶瓷靶材及烧结制备方法
本申请涉及陶瓷靶材的技术领域,具体公开了一种高导热稀土掺杂陶瓷靶材及烧结制备方法。高导热稀土掺杂陶瓷靶材包括如下重量百分比的原料:(Y,Sc)‑Al粉体99.3‑99.7%,AlO纳米粉0.2‑0.5%,氮化硼0.1‑0.2%,所述(Y,Sc)‑Al粉体是Al(OH)Cl·2HO、Y(NO)·6HO、Sc(NO)·4HO通过共沉淀形成的纳米复合粉体。本申请通过采用特定配比的(Y,Sc)‑Al粉体、AlO纳米粉、氮化硼,有助于提高陶瓷靶材的热导率以及在高温环境下的稳定性。
❖江苏迪纳科精细材料股份有限公司孔伟华; 马立; 孔磊; 高延红§ 2/8 請求項C04B 35/10 (2006.01), C04B 35/622 (2006.01), C04B 35/64 (2006.01)