元の名称記録: 北京华丞电子有限公司

本发明提供一种调节阀、质量流量控制器及其流量控制方法，该调节阀包括阀体组件、阀芯组件和位置检测装置，其中，阀体组件具有阀口；阀芯组件包括阀芯结构，阀芯结构具有密封面，阀芯结构被设置为能够使密封面相对于阀体组件沿靠近或远离阀口的方向移动，以打开或关闭阀口，以及调节流体流经阀口的流量；位置检测装置用于检测密封面相对于阀口的位置。本方案对流量控制的精度和重复性更高，可以满足半导体高端制程对于控制精度和重复性的需求。

本申请提供了一种射频电源的测量电路及半导体工艺设备，其中，该测量电路包括：信号采样模块，用于将功率放大电路输出的射频信号采样为采样信号；带通滤波模块，用于滤除采样信号携带的第一干扰信号；第一干扰信号的频率位于射频电源的本振频率的预设范围外；处理模块，用于根据采样信号确定出对应的射频功率，实现测量。本方案能有效提高测量电路的测量精度。

本发明公开了一种静电卡盘电源和半导体工艺设备，包括电压控制电路、互锁电路、第一开关至第四开关，电压控制电路输出第一电压、第二电压、第一控制信号和第二控制信号，互锁电路根据第一控制信号和第二控制信号，生成第一开关信号至第四开关信号，用于控制第一开关输出第一电压、第四开关输出第二电压，或者，控制第二开关输出第一电压、第三开关输出第二电压，或者，控制第一开关和第二开关分别输出第一电压，或者，控制第三开关和第四开关分别输出第二电压，并控制第一开关和第三开关不同时输出以及第二开关和第四开关不同时输出，以通过单台静电卡盘电源实现四种电压组合的输出的同时，避免静电卡盘电源短路及静电卡盘损毁的问题。