№ CN122923349A発明
不明感光性树脂组合物、固化膜及其制造方法
本发明涉及一种感光性树脂组合物,包括(A)感光性聚酰亚胺前体、(B)光引发剂、(C)交联剂以及(D)交联促进剂;所述(C)交联剂结构如通式(1)所示:(1)式中,p代表10~24的整数;R、R和R各自独立地选自氢原子或C的有机基团;所述(D)交联促进剂为C的脂肪醛类化合物;所述(D)交联促进剂的含量相对100质量份的(A)感光性聚酰亚胺前体而言为0.005~0.1质量份。本发明提供的感光性树脂组合物固化膜力学性能好,分辨率高,残留应力低,可显著改善晶圆封装后翘曲、变形等尺寸稳定性问题。
❖武汉柔显科技股份有限公司; 柔显(仙桃)光电半导体材料有限公司; 湖北鼎龙控股股份有限公司赵志强; 付华; 王禹; 肖桂林; 郑林波; 张咏Oct 16, 2026§ 5/15 請求項G03F 7/004 (2006.01), G03F 7/027 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01) +16