№ CN122921046A発明
不明一种金属散热产品的蚀刻深度测量方法及系统
一种金属散热产品的蚀刻深度测量方法及系统,涉及精密测量技术领域。方法包括:根据金属散热产品的蚀刻工艺布局,确定多个测量区域,每个所述测量区域对应一个蚀刻区与非蚀刻区之间的边界;对于各所述测量区域,在所述边界两侧分别选取位于所述非蚀刻区一侧的第一测量点,以及位于所述蚀刻区一侧的第二测量点;基于所述第一测量点和所述第二测量点对应的金属表面高度,得到对应测量区域的蚀刻深度。通过采用本申请,定位多个测量区域,覆盖关键工艺区域,减少无效冗余测量,提升测量精度与结果可靠性。
❖荣旗工业科技(苏州)股份有限公司朱文兵; 罗时帅; 陶磊Oct 16, 2026§ 4/10 請求項G01B 11/22 (2006.01)