杭州欧诺半导体设备有限公司

本发明涉及半导体晶片制造技术领域，特别涉及一种自动化半导体高温扩散炉，包括炉体，所述炉体上端设置有透气天窗，所述炉体上端内腔设有反应腔室，所述炉体一端外壁转动设置有旋转炉盖，所述旋转炉盖外壁固接有把手，所述旋转炉盖内腔与反应腔室内腔相连通，所述反应腔室内腔连通有导气管。本发明提供的一种自动化半导体高温扩散炉，通过纯机械式导流与过滤更换机构，实现了炉口气体的自驱动隔离除尘、离心分离颗粒、无源转速监测及自动备用切换报警，有效解决了传统方案依赖外部能源和电子元件在高温下可靠性差的问题，提升了晶片制造过程的洁净度和设备寿命。