№ CN122996147A発明
不明用于改善氮化硅相对于氧化硅的选择性蚀刻的方法
本发明涉及一种用于蚀刻衬底的至少一个表面,优选用于选择性蚀刻氮化硅,更优选用于在氧化硅存在下选择性蚀刻氮化硅的方法。
❖赢创运营有限公司T·P·A·鲁贝鲁; G·法里德; 刘家昌Oct 27, 2026§ 7/13 請求項C09K 3/14 (2006.01), C07F 7/18 (2006.01), C09K 13/04 (2006.01)
APPLICANTS
原資料の出願人名と、取り込んだ特許の元の名称欄を閲覧します。
名称による検索結果であり、法的主体の同一性を確認したものではありません。同名の個人・組織や旧名称、別名を自動統合しません。
この名称は原 XML の独立した出願人ノードから抽出されています。
索引済み特許 2 件
特許の件数は当サイトに収録された重複のない特許レコード数であり、出願人の全特許数ではありません。共同名義の文字列は単一企業を表しません。
検証済みの収録期間と最終取り込み日時は現在不明です。公開日は取り込み日ではありません。キャッシュにより新しい記録の表示が遅れる場合があります。
ローカルの元の出願人フィールドにこの全文を含む記録を検索します。共同名義や長い名称を含む場合があり、厳密な主体検索ではありません。
この出願人条件で特許を検索