艾克塞利斯科技公司

本公开总体上涉及一种用于将工件相对于特定机械进行定位的机器人系统。在一个实施例中，本公开涉及用于教导定位机器人将工件相对于处理中心（例如卡盘）放置并利用其间的几何关系验证所述放置的方法、系统和设备。在一个实施例中，本公开涉及一种用于将工件定位在处理站的卡盘处的设备。所述设备包括：存储电路，其包含可执行代码；中央处理单元（CPU），其与所述存储电路通信；末端执行器（EE），用于抓取和重新定位所述工件；以及对准卡盘和处理卡盘。所述对准卡盘和所述晶圆可用于利用各种几何关系来确定所述卡盘的中心位置（E）与所述工件的中心之间的距离。