爱斯福公司

公开了用于在光子集成电路(PIC)测试期间减轻位置敏感光学测量误差的方法和系统。该系统包括光源、光学探头、光学检测器和对准台。该方法包括利用对准台将探头与PIC之间的间隙调整到≥2个不同间隙设置，所述间隙设置对应于探头到PIC距离，所述探头到PIC距离被选择以在间隙中形成的光学腔内产生个往返相移，所述相移在完整的2循环内基本上均匀地间隔。对于每个间隙设置，执行测试测量，该测试测量包括：经由探头将来自光源的测试光注入到PIC中，经由探头收集从PIC输出的光，以及利用检测器来检测所收集的光以生成测量结果。个测量结果被组合成具有减少的腔诱导误差的经校正的测量结果。