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本发明属于氧化物靶材技术领域，具体涉及一种氧化铟钨粉体、蒸镀靶材及其制备方法。本发明方法以氧化铟为主体，掺杂固定比例的氧化钨粉末后烧结制备得氧化铟钨前驱体粉末，再混入特定比例氧化铟粉末，烧结得到具有元素稳定、性能优异且稳定的IWO蒸镀靶材。

本发明属于光伏电池技术领域，提供了一种铈掺杂氧化铟基蒸镀靶材及其制备方法和应用。本发明提供的铈掺杂氧化铟基蒸镀靶材，为同心圆柱结构，包括中心圆柱和包裹在中心圆柱外围的空心环状圆筒，且中心圆柱和空心环状圆筒具有同一中心，中心圆柱和空心环状圆筒均为氧化铟铈，但是两者的铈含量不同，其中，氧化铟95‑98wt％，氧化铈3‑5wt％；空心环状圆筒中氧化铟99‑99.9wt％，氧化铈0.1‑1wt％。靶材密度为4.169‑4.226g/m，电阻率低至78.9‑86.3Ω·cm，能够有效提高靶材的蒸发效率和均匀性，避免靶材残留，提高靶材的利用率。

本发明公开了一种钨基陶瓷靶材及其制备方法与应用。涉及粉末冶金技术领域。上述钨基陶瓷靶材的组分，包括钨氧混合物、第一掺杂剂和第二掺杂剂；上述钨氧混合物选自Magneli相钨氧混合物，和/或，上述钨氧混合物选自钨单质和氧化钨；上述第一掺杂剂包括Zr、Co、Cu、Zn的氧化物中的至少一种；上述第二掺杂剂包括Mo、Ta、Nb、V、Y、Ti的氧化物中的至少一种。本发明通过钨氧混合物导电基体与双掺杂剂协同，实现高导电性、高透光率和耐腐蚀性。