№ CN121323855A発明
有効一种基于MCS的防腐蚀高压压力传感器芯体制作方法
本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种基于MCS的防腐蚀高压压力传感器芯体制作方法。包括:S1,将弹性体基板、融合材料和敏感材料联压制作弹性复合体;S2,对弹性复合体进行分割形成弹性体芯体的半成品;S3,通过塑性成型或切削加工工艺制备内衬;S4,在真空环境中将弹性体芯体加热至150℃‑400℃,将常温的内衬衬装入弹性体芯体的流体压力腔内,使感压膜片置于流体压力腔和弹性体芯体中间,再冷却至室温;S5,使压力传感器接头设置于流体压力腔的开口端,并与弹性体芯体及内衬进行焊接;S6,对压力传感器进行消除焊接应力处理后再对内衬进行预贴合处理,得到压力传感器芯体。以解决现有传感器芯体使用寿命短的问题。
❖西安中星测控有限公司石阳; 张林; 谷荣祥§ 1/8 請求項G01L 9/04 (2006.01), G01L 19/06 (2006.01)19