光波导模块
一种光波导模块,包括基板、耦入光栅结构、耦出光栅结构以及转折光栅结构。耦入光栅结构、耦出光栅结构以及转折光栅结构设置于基板上,且转折光栅结构位于耦入光栅结构与耦出光栅结构之间。转折光栅结构具有多个第一子区,各第一子区设置有子光栅结构及覆盖层,覆盖层覆盖子光栅结构,在切过子光栅结构及覆盖层的剖面图中,定义覆盖层与子光栅结构的面积比为覆盖层占比率,且多个第一子区具有不同的覆盖层占比率。
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