元の名称記録: 广州市尤特新材料有限公司

本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种大厚度二氧化钛靶材的等离子喷涂‑冷等静压致密化方法，包括以下步骤：靶材基体预处理，将纯铝背管采用丙酮超声清洗10‑15min，去除油污，然后等离子喷涂处理，热调化处理，再冷等静压，最后低温退火消除应力，即可；本发明显著提升靶材密度与致密度、开裂裂纹性以及靶材耐腐性，满足溅射镀膜严苛需求，采用等离子喷涂处理、热调化、冷等静压以及低温退火消除应力联合改进，得到的靶材性能实现协调改进，以及性能稳定性优异。

本发明涉及溅射靶材技术领域，具体涉及一种锡靶材与背管一体化浇注成型的制造方法，包括以下步骤：背管表面预处理：选取无氧铜或不锈钢背管，依次进行表面清洁、增强处理，所述增强处理为镀镍镀层；浇注模具准备与背管定位：将预处理后的背管作为嵌件固定于浇注模具内，保证背管与模具型腔的同轴度。采用锡靶材与背管一体化浇注成型的特殊工艺制成的产品能够实现界面强度性、热导率协调性，同时产品耐腐程度稳定性效果显著。