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索引済み特許 2 件

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本公开涉及一种温度传感器，包括：第一套管；至少部分位于所述第一套管内的光线入射端；至少部分位于所述第一套管内的反射构件，所述反射构件配置为与所述光线入射端相对设置，所述光线入射端的端面与所述反射构件的端面形成法珀腔；所述光线入射端及所述反射构件分别与所述第一套管固定连接。

本公开涉及法珀传感器的制造方法以及根据所述方法制造的法珀传感器。所述方法包括：制造具有腔体的基部；提供用于形成压力敏感膜片的层堆叠体；在所述层堆叠体的至少一侧对暴露的压力敏感膜片的基础材料进行蚀刻以形成突起结构；以及在所述层堆叠体的一侧对暴露的压力敏感膜片的基础材料进行离子注入以形成掺杂区。