高频硬芯基板深微孔加工方法
本发明涉及微孔加工技术领域,涉及一种高频硬芯基板深微孔加工方法,提供待加工的高频硬芯基板,并将其固定于工作台;提供固相润滑微粒,并将所述固相润滑微粒与压强大于0.8MPa的气流混合,形成固相微量润滑介质;基于超声振动钻头沿加工轨迹移动时,向目标加工位置喷射所述固相微量润滑介质,借助超声振动的机械作用将所述固相微量润滑介质引入钻头与基板接触区及所形成的深微孔孔壁,以润滑所述深微孔的钻削成型。本发明所述的深微孔加工方法,通过固相润滑微粒在高压气流携带下与超声振动钻削协同作用,实现切削区的强制冷却与动态渗透润滑,从而有效降低钻削力和切削热,抑制材料粘附与分层,显著提升深微孔的加工质量。