上海新昇半导体科技有限公司

本申请属于半导体检测技术领域，提供一种表面光电压测试仪的信号电压校准方法，包括：提供表面光电压测试仪以及第一外延片至第四外延片；对表面光电压测试仪进行初步校准；在第一量测模式下分别对第一和第二外延片进行测量，以获取不同光源功率的辅光源下的若干第一模式电压；在第二量测模式下分别对第三外延片和第四外延片进行测量，以获取在不同光源功率的辅光源下的若干第二模式电压；对第一和第二模式电压进行分析，获得信号电压及其电压衰减率与量测模式和辅光源的光源功率的关系。在后续正式测试时，能够根据上述关系计算得到需要设置的辅光源的光源功率，快速、准确地实现了对SPV机台的信号电压校准。

本申请提供一种加料装置和单晶炉，加料装置用于向单晶炉输送硅颗粒。加料装置包括管路组件和送料组件。管路组件包括第一部分和第二部分。送料组件设置在管路组件的内部且连接至管路组件。送料组件用于驱动管路组件的内部的硅颗粒沿管路组件的延伸方向移动。管路组件的远离硅原料仓的一端用于从单晶炉的侧面延伸至单晶炉的内部，且指向熔体硅的液面。在管路组件连接至单晶炉且向单晶炉输送硅颗粒的情况下，第一部分连接至第二部分，第二部分的远离第一部分的一端指向液面。根据本申请的加料装置，能够不通过单晶炉副室，不改变热场结构，实现向单晶炉内添加硅料，硅颗粒自由落体距离短，降低了液体飞溅，提高了后续单晶硅晶棒生长的稳定性。