江苏南大光电材料股份有限公司

本发明公开了一种电子级三乙基镓的提纯方法，包括如下步骤：将物料投入塔釜，在5.5kPa‑6.5kPa压力、绝氧无水条件下加热至80℃‑90℃；控制塔顶温度和回流比，接收前馏分；前馏分接收后，回流静置一定时间；控制塔顶温度和回流比，接收次馏分；控制塔顶温度和回流比，接收产品，得到电子级三乙基镓。本发明通过分段差异化回流比、过渡静置、惰性载气协同等工艺，同步实现核磁0.9处、5.0处特征有机杂质0ppm，ICP金属杂质ppb级归零，杂质脱除效果优异，满足高端半导体MOCVD外延生长需求。