№ CN121321209A発明
有効节能型自动化单晶炉
本发明实施例提供的节能型自动化单晶炉,涉及晶体生长设备技术领域。其包括炉体,且炉体从下至上依次设置有底座、炉壁以及炉盖,其特征在于:炉盖与炉壁的法兰通过液压升降机构与旋转锁紧装置相结合;炉壁为双层水冷不锈钢炉壁;炉体内部最底层为坩埚旋转升降台以及置于其上的坩埚,坩埚外围依次设置三区石墨加热器和保温层;炉盖上方设置有单独的独立隔舱,且独立隔舱内部中设置有磁悬浮拉晶机构,磁悬浮拉晶机构耦合有籽晶轴;独立隔舱上方为副炉室,籽晶轴上下贯穿至副炉室与炉体内部。该节能型自动化单晶炉通过三区加热、磁悬浮自动拉晶及优化炉体结构,实现了晶体生长过程的高精度自动化控制与显著节能,有效提升单晶质量与成品率。
❖云南嘉泰来新材料有限公司李琪; 王子文; 魏小宁; 杨湘§ 1/10 請求項C30B 15/14 (2006.01), C30B 15/30 (2006.01), C30B 15/20 (2006.01) +3