三(三甲基硅基)磷酸酯及其制备方法
本申请公开了一种三(三甲基硅基)磷酸酯及其制备方法,属于化学合成领域。三(三甲基硅基)磷酸酯的制备方法,包括:三(三甲基硅基)磷酸酯的制备方法,包括:将六甲基二硅氧烷与五氟化磷在搅拌条件下,加热反应,得到三(三甲基硅基)磷酸酯,所述六甲基二硅氧烷与所述五氟化磷的物质的量之比为(5~10):1。本申请以五氟化磷替代五氯化磷,由于氟原子半径小、电负性大,使磷正电性高且空间位阻小,因此五氟化磷更易与六甲基二硅氧烷反应,无需催化剂,可以大幅降低三(三甲基硅基)磷酸酯的成本,且三(三甲基硅基)磷酸酯的收率较高。