浙江求是半导体设备有限公司

本发明属于半导体加工技术领域，公开了磁流体密封装置及化学气相沉积设备，磁流体密封装置包括旋转电机及从轴心由内至外依次设置的内轴套、外轴套和基座轴套，内轴套和外轴套之间设有第一磁流体结构，外轴套和基座轴套之间设有第二磁流体结构，旋转电机驱动外轴套旋转，基座轴套用于连接被密封件，内轴套和外轴套之间设有第一轴承结构，外轴套和基座轴套之间设有第二轴承结构；第一轴承结构包括沿内轴套的轴向间隔设置的两个第一轴承体，第二轴承结构包括沿轴向间隔设置的两个第二轴承体，第一磁流体结构设置于两个第一轴承体之间，和/或，第二磁流体结构设置于两个第二轴承体之间。本发明通过上述设置提高磁流体密封装置的通用性和安装便利性。

本申请涉及光伏电池加工领域，尤其是涉及一种电池串加工工艺，包括：提供若干电池片，若干所述电池片间隔布设；提供焊带组，所述焊带组包括若干并列设置的焊带；使所述焊带布设于电池片上；并使所述焊带和所述电池片连接形成待加工电池串；对所述电池片之间的焊带按预设策略切割，形成电池片或电池串。通过在电池串上按预设策略切割加工，达到提高电池片加工的灵活性和加工效率的技术效果。