元の名称記録: 珠海基石科技有限公司

本申请实施例提供了一种光感组合物及其应用。该光感组合物同时引入了光引发剂、可交联单体热交联剂、硅烷偶联剂、填料，并控制特定物质的活性官能团量的物质的量的关系在一定的范围内，使该光感组合在光交联和热交联后可实现较高且较为合适的交联密度，且填料的增强效应较优，上述光感组合物或其制得的光感膜的固化物可兼具较高的留膜率、较优的机械性能以及良好的耐化学性；该光感组合物可以用于半导体器件的制造中，提升半导体器件的生产可靠性和产品良率。

本申请实施例提供了一种感光组合物、制备方法及其应用。该感光组合物为含有填料的PI、PAE、聚酰胺酸感光体系，在含有填料的上述感光体系中进一步选择特定结构的光引发剂能够有效提升感光组合物及其制得的感光层的图案化分辨率、解析性、深层固化性能以及较优的可加工性，且其制得的图案化膜还兼具良好的物化性能和机械性能；该感光组合物可以用于半导体器件的制造中，提升半导体器件的完整度和可靠性。