浙江天隽半导体科技有限公司

本发明公开了基于视觉特征的半导体供液柜内漏液应急检测方法，具体涉及半导体生产设备安全监测技术领域，包括以下步骤：获取半导体供液柜的内部结构信息，并根据供液柜内部的管路、管路接头、泵体、阀门、过滤器、储液容器、柜体底板及排液区域建立多个视觉检测区域；通过设置于所述供液柜内部的图像采集装置采集各视觉检测区域的检测图像。本发明通过综合分析液滴、液膜、液流、反光边界及运动轨迹等视觉特征，实现对供液柜内微小渗漏、滴漏和积液的早期检测；结合运行状态和多级风险判定，降低反光、冷凝水及维护操作造成的误报警，并可联动停泵、关阀、排液、报警及设备联锁，缩短漏液处置时间，提高供液系统安全性和事故追溯能力。