元の名称記録: 上海束描半导体技术有限公司

本发明公开了一种复合重力补偿器，包括安装顶座、安装底座、磁重力补偿器和弹簧；安装底座和安装顶座间隔配置；磁重力补偿器至少包含一个定子和一个动子，动子与安装顶座相连，定子与安装底座相连，动子包括至少一个动子磁体阵列，定子包括至少一个定子磁体阵列，动子磁体阵列和定子磁体阵列之间存在一个间隙，以使两者之间无机械接触的相互作用产生第三方向向上的力作为负载支撑力，并在至少一个方向上具有负刚度特性；弹簧连接安装顶座和安装底座；弹簧和磁重力补偿器以并联的方式连接安装顶座和安装底座，且弹簧的正刚度抵消全部或部分磁重力补偿器的负刚度，以实现复合重力补偿器的准零刚度，在低频扰动和高频振动下都能实现良好的减振效果。