上海龙枢智控科技有限公司

本发明公开天车的路径规划方法、中央服务器、自动物料搬运系统和介质，所述方法包括获得每条路径的多维度信息，将所有路径的多维度信息构成全局状态信息；空间特征提取网络以预设的时间步长，逐时间步对全局状态信息进行堆叠，获得全局空间特征；利用关联网络建立全局空间特征中任意两个时间步之间的依赖关系以及依赖关系之间的动态关联，根据时序维度上的内在联系，获得全局时空特征；将全局时空特征和当前被控天车信息进行融合，得到融合特征；使用决策网络处理融合特征获得被控天车的候选动作的概率分布，根据概率分布获得目标动作。方法从局部车辆位置到全局路径状态的统一建模，可适配大规模任务调度场景下的自动物料搬运系统。

本发明公开晶圆盒内晶圆状态的检测方法和设备前端模块，所述方法包括获取待测晶圆盒内的图像数据；利用轻量化卷积神经网络提取图像数据的局部特征，局部特征包括低反差特征和弱纹理特征中的至少之一。对局部特征进行全局空间依赖建模，提取不同区域间的长程空间关联信息，并进行维度统一，得到第一输出结果。对局部特征进行维度统一，得到第二输出结果。对第二输出结果和第一输出结果进行拼接，获得拼接特征，拼接特征包括晶圆盒内局部缺陷信息和全局姿态关联信息。使用检测网络对拼接特征进行检测，输出晶圆盒内的检测结果。所述晶圆盒内晶圆状态的检测方法和设备前端模块能检测盒内的晶圆状态异常，而且检测的可靠性高。