元の名称記録: 广东精瓷新材料有限公司

本发明公开一种基于流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法，碳化硅静电卡盘包括有基座、邦定材料层以及陶瓷片；该陶瓷片采用碳化硅原粉、体积电阻调控剂、烧结助剂和球磨添加剂通过流延、压合和烧结形成，并包含有通过丝网印刷制备的发热电极层以及吸附电极层。本发明通过添加体积电阻调控剂的方法调节碳化硅体积电阻率，以满足静电卡盘电介层质的要求，同时配合通过采用流延、压合和烧结工艺，在高温下同时施加压力作用，使得碳化硅陶瓷片各层能够烧结致密且层与层之间具有更高的结合度，有效避免出现分层，之后通过退火处理，有利于排除碳化硅陶瓷中残余杂质，促进陶瓷晶界迁移、晶粒生长均匀化以及气孔消除以提高致密度，释放残余应力。

本发明涉及一种具有梯度孔径的真空吸盘及其制备方法和应用，所述真空吸盘包括面向对象吸附方向的表层和远离对象吸附方向的底层，所述真空吸盘为碳化硅材质的多孔陶瓷，且所述表层孔径小，所述底层孔径大，由所述表层至所述底层的孔径逐级递增。本发明通过离心沉积结合碳化硅重结晶烧结的方法形成的真空吸盘具有梯度孔径结构，可以很好地保证了陶瓷内部的梯度孔径结构与通透性，提升了真空吸盘的吸附性能。

本发明公开一种带多工位的压力烧结炉，包括炉本体、加热系统、压力系统、真空系统、充放气系统、冷却水系统、电控系统、报警系统；压力系统包括至少一组压紧机构和驱动压紧机构的液压油路，压紧机构包括第一油缸和第二油缸，第一油缸和第二油缸的底部均连接有上压头，还包括对应上压头设置的下压头，液压油路包括主油箱、主油路、第一支油路、第二支油路和回油路，第一支油路和第二支油路上均设置有电磁换向阀、伺服换向阀，第一油缸和第二油缸分别连接于两个伺服换向阀。电磁换向阀用于控制油路的通断，伺服换向阀能够调节油缸的加压压力，实现同一气氛环境的产品在不同压力条件下的进行烧结，易于研究压力对产品产出良率的影响曲线。

本发明公开一种一体化压制成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法，碳化硅静电卡盘包括有基座、邦定材料层以及陶瓷片；该邦定材料层贴合固定在基座的表面；该陶瓷片贴合固定在邦定材料层的表面，该陶瓷片采用一体化压制成型方法获得，其中设有具备发热以及吸附功能的第一电极层和第二电极层。通过铺粉‑压制‑铺粉‑再压制的压制方法，实现了静电卡盘电极层与上下陶瓷基体的良好结合，解决了烧结时电极层与陶瓷基体易分层的现象；本方案中，因陶瓷粉体具有良好的流动性，粉体可充分填充电极层与上下陶瓷基体间的孔隙，使得嵌入的电极层不再拘泥于原有技术中模具或陶瓷基体凹槽的形状，能够设计更加复杂的线路，也减少了模具成本。

本发明公开一种高温静电卡盘及其制备方法，其结构包括陶瓷层和陶瓷金属基座，陶瓷层是氮化铝陶瓷或者氧化铝陶瓷的一种；陶瓷金属基座以可伐合金（主要成分是铁、镍和钴）或铝的一种为基底，添加剂为碳化硅、氧化钇、碳化钛或氧化铝、碳化硅、氧化锆。本发明的特色在于陶瓷金属基座通过结合陶瓷的耐高温、绝缘性和金属的导热优势，并通过增韧机理设计增加了韧性，解决了陶瓷的脆性问题，且组成一种高温静电卡盘的陶瓷层和陶瓷金属基座的热膨胀系数接近，可以维持高温加工时静电卡盘的表面平面度，规避陶瓷层开裂、产品整体bonding层分层或开裂问题，增加可靠性和使用寿命。