元の名称記録: 华虹集成电路（成都）有限公司

本申请提供一种晶圆真空吸盘的应力监控装置和方法，该应力监控装置包括应力传感器、信号处理单元、逻辑判断单元、运动控制单元和报警装置，对吸附销的运动进行实时应力监控，有效防止因拉应力过大而导致吸附销被拉断事件的发生。

本申请提供一种研磨机台晶圆滑出探测设备抗干扰侦测方法，采用双光路光强比值检测通过主光路和参考光路的信号比消除共模干扰，结合双光路光强比值的静态均值与动态导数分析，仅当静态和动态条件同时满足时触发机台报警。极大地减少了晶圆滑出探测设备的误侦测报警，减少了因为误报警导致的晶圆氧化报废，以及减少了工程师处理机台报警的额外负担。