元の名称記録: 北京华林嘉业科技有限公司

本发明实施例公开了一种有机污染物矿化系统及矿化工艺。所述矿化系统包括处理池；曝气单元，包括表面负载有多孔TiO‑CeO复合物的曝气头；紫外光照射单元，包括紫外光源；COD检测单元，配置为实时检测处理池内水相的COD值；控制单元，分别与曝气单元、紫外光照射单元及COD检测单元信号连接；其中，所述紫外光源与曝气头的物理间距小于10cm，且曝气头与待处理样品的物理间距为5‑20mm。本发明通过催化剂原位负载设计与紫外‑臭氧联动控制，实现有机污染物原位高效氧化分解，避免中间产物残留，大幅提升矿化彻底性，同时提升处理效率、降低时间成本，在农业和医疗废物处理领域具有较好的应用前景。

本发明公开了一种一体化晶圆倒角加工设备，包括柜体、检测单元、自动上下料单元、主传输机构、横向传输机构、纵向传输机构、测厚及位置校准单元、磨削单元和清洗单元，检测单元、自动上下料单元、测厚及位置校准单元、磨削单元和清洗单元通过主传输机构、横向传输机构和纵向传输机构串联，共同形成环形结构。达到的技术效果为：布局更加紧凑，可满足自动化工厂生产需求；晶圆传输路径为环形，可有效降低各工位间流转冲突，提升生产效率；主传输机构只负责上下料与送片检测，可降低其精度要求，降低加工成本；测厚及位置校准单元与磨削单元、清洗单元采用直线布置，依靠横向传输机构在各工位之间转移，精度更易保证。