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本发明涉及一种载体及其制备方法，和包含该载体的显影剂。公开了一种载体，包括：包覆于磁性核表面的偶联剂预处理层，偶联剂预处理层由第一偶联剂形成；以及包覆于偶联剂预处理层外侧的硅树脂复合包覆层，硅树脂复合包覆层包含硅树脂、第二偶联剂和带电调节剂，第二偶联剂分散于所述硅树脂中，第一偶联剂和第二偶联剂均为硅烷偶联剂。载体膜层厚度均匀、包覆率完整，经久耐用，带电分布窄，从而稳定打印过程中的Vsp值、样张密度。该载体制备方法中包括减压蒸馏和整粒破碎步骤，改善了打印样张的密度稳定性。

本发明涉及一种感光性树脂组合物，包括(A)感光性聚酰亚胺前体、(B)光引发剂、(C)交联剂以及(D)交联促进剂；所述(C)交联剂结构如通式（1）所示：（1）式中，p代表10~24的整数；R、R和R各自独立地选自氢原子或C的有机基团；所述(D)交联促进剂为C的脂肪醛类化合物；所述(D)交联促进剂的含量相对100质量份的（A）感光性聚酰亚胺前体而言为0.005~0.1质量份。本发明提供的感光性树脂组合物固化膜力学性能好，分辨率高，残留应力低，可显著改善晶圆封装后翘曲、变形等尺寸稳定性问题。