№ CN121353233A発明
有効基于YOLO目标检测的Wafer测试lonely die检测与剔除方法
本发明涉及半导体测试技术领域,具体公开了基于YOLO目标检测的Wafer测试lonely die检测与剔除方法,包括:获取并预处理wafermap图像;对预处理完成的Wafermap图像进行信息标注;将准备好的wafermap数据集按照预设比例进行随机分配;基于指定的lonely die类型定义孤立芯片的检测规则,结合YOLO输出的检测结果进行孤立芯片的自动识别,对符合孤立芯片条件的芯片进行标注和剔除,生成包含孤立芯片坐标和数量的报告,并在wafermap图像上进行可视化。本发明相较于人工筛选的方式显著提高了检测效率。
❖悦芯科技股份有限公司祁云峰; 张悦; 杨爱民; 高二猛; 张梦杰; 李玉鑫; 方梦§ 1/8 請求項G06T 7/00 (2017.01), H10P 74/00 (2026.01), G06V 10/25 (2022.01) +323