武汉华日精密激光股份有限公司

本发明涉及激光微纳加工技术领域，具体涉及一种透明硬脆材料微通孔阵列的快速制备系统及方法，包括激光器、AOD单元、聚焦单元、光束转换单元以及三维运动平台；激光器产生的高斯光束经光束转换单元转换为贝塞尔光束后，由AOD单元带动进行高速、高精度偏转扫描，配合三维运动平台的进给运动，实现透明硬脆材料微通孔阵列的快速制备；通过在AOD单元和聚焦单元之间的光路上增设远心单元，将AOD单元任意偏转角度下出射的贝塞尔光束准直为平行光束，确保聚焦单元入射光束的锥角恒定，同时有效消除AOD光束偏转和光路传输过程中引入的像差，获得焦深均匀、形态规整、稳定性高的长焦深贝塞尔聚焦光束，从而保障透明硬脆材料微通孔阵列加工的一致性与精度。