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本发明涉及一种声波谐振器，包括：压电层；第一电极结构，位于所述压电层的第一主面，包括第一电极；第二电极结构，位于所述压电层的第二主面，包括第二电极；所述第一主面和第二主面是相对的两面；所述第一电极结构和/或所述第二电极结构具有复合结构，所述复合结构包括：第一介电层；第一导电层，位于所述第一介电层与所述压电层之间；所述第一导电层与所述第一介电层的声学厚度之和趋近于谐振器工作谐振频率下的声波的四分之一波长。本发明能够降低谐振器的热弹性耗散。

本申请涉及一种体声波滤波器及其制备方法。体声波滤波器的制备方法包括：提供衬底；于衬底的表面形成声学反射镜；于声学反射镜远离衬底的一侧形成底电极层；于声学反射镜远离衬底的一侧形成压电层；于压电层远离所述声学反射镜的一侧形成顶电极层；于压电层远离声学反射镜的一侧形成第一频率温度系数补偿层；于第一频率温度系数补偿层远离压电层的一侧形成附加布线层。本申请中，谐振腔中形成的大部分驻波会被束缚在第一频率温度系数补偿层中，底电极层、压电层、顶电极层和第一频率温度系数补偿层均可以使用更厚的厚度来实现给定的共振频率，简化了制备过程，在高频工作状态下，可以实现低损耗、宽宽度、低温度灵敏性、小尺寸和易于制造等优点。