元の名称記録: 河北唯佳金属网股份有限公司; 河北唯佳精密科技股份有限公司; 河北睿佳精密科技有限公司

本发明涉及粉尘收集技术领域，本发明提供了一种微米级粉尘收集装置，其包括粉尘过滤器，粉尘过滤器具有进气管道、出气管道和集粉出口，收集箱具有用于承接集粉出口的粉尘进口和位于顶部的气流出口，集粉出口和粉尘进口之间设置有过滤件，引流管道连接于气流出口和进气管道之间，引流管道上设置有引流风机，引流风机用于将收集箱内的气体引流至进气管道内，沉降组件设置在收集箱内，用于使收集箱中的微米级粉尘沉降，以避免微米级粉尘流向进气管道。通过上述技术方案，解决了现有技术中粉尘过滤装置收集粉尘后，粉尘利用需要二次筛分的技术问题，降低了物料的损耗。

本发明公开了用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置，涉及刻蚀技术领域，包括：读取刻蚀图案信息，执行不同刻蚀位置刻蚀深度标记，生成刻蚀深度分布图；采集刻蚀液信息和金属板基材信息，按照预设侧壁精度需求执行侧向腐蚀行为仿真，建立极限单次刻蚀约束；按照极限单次刻蚀约束，基于所述刻蚀深度分布图执行分次遮挡刻蚀分割，生成分次刻蚀参数，每次的刻蚀参数包括曝光显影参数和刻蚀控制参数；以所述分次刻蚀参数对金属板基材进行分次刻蚀控制。本发明解决现有技术刻蚀深度不均和侧向腐蚀难控的技术问题，通过建立极限单次刻蚀约束并实施分次遮挡刻蚀，达到提高刻蚀精度和一致性的技术效果。