气相沉积连续设备
本发明属于磷碳负极气相沉积制备技术领域,公开了一种气相沉积连续设备,包括蒸汽发生器、气相沉积炉以及连通管路。蒸汽发生器能够容纳并使第一物料汽化形成蒸汽;气相沉积炉能够容纳第二物料,并使第一物料形成的蒸汽沉积。该连通管路连通于该蒸汽发生器和该气相沉积炉之间,能够将该蒸汽发生器中的该蒸汽导向该气相沉积炉。该气相沉积连续设备能够提升磷碳负极材料气相沉积制样效率。
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