元の名称記録: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司

能够高精度地测定被检查体的表面温度。本发明提供一种检查装置，其使被检查体的电极端子和导电性触头接触，使测试器和所述被检查体之间电连接，从而检查被检查体，该检查装置的特征在于，具备：被检查体支承部，其支承被检查体；红外线受光部，其至少以被检查体为温度测定对象物，接受所述被检查体辐射的红外线；以及温度测量装置，其具有根据来自红外线受光部的红外线变换为温度测定对象物的温度的温度变换功能，被检查体支承部在被检查体支承部的周缘区域或周缘附近具有黑体。

在使用红外线传感器非接触地测定具有多个被检查体的晶圆的表面温度时，能够修正产生误差的主要原因，精度良好地进行测定。本发明提供一种检查装置，其使电触头与晶圆上的被检查体的电极端子接触，经由电触头使测试器与被检查体之间电连接来检查被检查体，所述检查装置具备：晶圆支承部，其支承晶圆；红外线受光部，其至少以晶圆为测定对象接受晶圆辐射的红外线；以及温度测定控制部，其根据由红外线受光部接受的红外线的红外线辐射量控制测定对象的温度测定，温度测定控制部具有对基于晶圆的红外线辐射量的测定温度进行修正的温度修正部。

电连接装置用探针具备：脚部，其呈沿第一方向延伸的长条形状，具有与探针基板接合的接合部；臂支撑部，其具有支撑部件和斜边部件，该支撑部件在脚部的一端部附近沿与第一方向交叉的方向延伸，该斜边部件从支撑部件的任意的点与脚部的另一端部至中心部之间的点连结；以及悬臂构造的臂部，其具有固定端和自由端，在自由端的前端形成有与检查对象物接触的接触部，固定端与臂支撑部连结。