元の名称記録: 靖江佳晟真空技术有限公司

本发明公开了一种变向传动机构，包括：两个导向支撑件，对称间隔设置，导向支撑件的一端与阀体连接，并且导向支撑件上具有引导槽、第一导向槽和第二导向槽；升降座，设置在导向支撑件之间，被驱动气缸联动，升降座与第一导向槽活动连接；传动连杆组件，活动连接在升降座和波纹管密封组件之间，波纹管密封组件的侧壁上具有第一导向件，第一导向件与第二导向槽活动连接；以及至少一引导件，活动连接在波纹管密封组件的侧壁上，与引导槽活动连接；从而克服了阀板在移动时，会与阀体之间产生摩擦，产生了摩擦颗粒的技术问题。

本申请涉及一种基于PID参数自整定控制算法的应用于控制阀调节腔室压力的方法，涉及工业过程自动控制的技术领域，其包括以下步骤：参数识别步骤：基于腔室压力与控制阀开度的实时响应数据，采用递推最小二乘算法识别系统动态参数，包括系统增益、时间常数和滞后时间；PID参数自适应整定步骤：根据识别出的系统动态参数。本发明可以识别腔室压力系统的核心动态参数，并基于识别参数优化PID控制器参数，提升压力调节精度与响应速度，增强PID控制对工况变化的鲁棒性，减少人工干预需求。