武汉国创科光电装备有限公司

本申请涉及一种大尺寸基板的真空干燥系统，包括：箱体；抽气装置，其用于给箱体抽真空；两个作用板，两个作用板分别包括热板和冷板，热板用于承载基板，热板内设有加热结构；冷板位于箱体内，冷板位于热板的正上方，冷板内设有冷却结构；两组调平组件，两组调平组件分别作用于热板和冷板相互背离的安装面，两组调平组件分别调整热板和冷板正对的作用面的平整度，以使热板的作用面与冷板的作用面各处均平行；其中，加热结构和冷却结构使热板与冷板在任意竖向对应位置处的温度差在预设的标准温差范围内。本申请对热板和冷板的平整度调整，保证热板和冷板在任意竖向对应位置处温度差一致，确保基板表面各处溶剂的蒸发速率一致，保证了成膜均匀性。