芯联先锋集成电路制造（绍兴）有限公司

本发明公开了一种炉管工艺热应力优化控制方法，包括以下步骤获取步骤，获取晶圆在已完成炉管工艺中的历史位置信息，其包含晶圆在晶舟高度方向上的分布位置；赋分步骤，根据历史位置信息，对晶圆进行热应力风险赋分，分值大小与晶圆在晶舟两端位置出现的累计次数呈正相关；排货步骤，在晶圆进入下一道炉管工艺排货时，根据分值将高风险晶圆优先分配至晶舟中部；重复执行步骤，在每道工艺完成后更新历史信息及分值，循环执行以持续减少晶圆全流程中处于两端位置的总次数。本发明无需改造硬件、更改配方或牺牲批次产能，仅通过MES后台逻辑调度，即可有效降低高温热应力导致的晶圆滑移或形变风险，提升良率。

本申请涉及一种低电弧放电高压电容器件及其制备方法。所述制备方法包括提供初始晶圆，初始晶圆的晶圆背面衬底上方形成有氧化硅‑氮化硅‑氧化硅复合三层绝缘叠层；对晶圆的背面进行选择性湿法刻蚀处理，通过刻蚀将背面完整的三层绝缘叠层全部剥离，刻蚀终止于背面的多晶硅膜表层；通过支撑构件将晶圆整体抬离设备承载台面，对背面完成介质剥离的晶圆实施悬空式等离子灰化处理，去除晶圆表面残留光刻胶与刻蚀衍生副产物。本申请解决了电荷积累导致的局部电场畸变问题，静电卡盘电流完全平稳无波动，电弧放电发生率降至零，大幅提升良率减少颗粒污染；且该方法不改变正面工艺参数，与现有工艺完全兼容，改造成本低易于量产。

本申请涉及一种智能功率模块的静电放电保护电路及方法。该静电放电保护电路包括：智能功率模块包括高压驱动电路、低压驱动电路以及功率器件，低压驱动电路具有第一参考地端，功率器件具有第二参考地端；静电放电保护电路包括静电保护模块，静电保护模块串联在所述第一参考地端与所述第二参考地端之间，静电保护模块包括第一静电放电器件和第二静电放电器件，第一静电放电器件与所述第二静电放电器件反向串联连接，形成双向静电泄放通路。本发明通过在驱动地与功率地之间设置专用的背靠背静电放电保护结构，具有泄放路径短、响应速度快、电路结构简单、成本低廉的优点，同时能够有效提升智能功率模块的抗静电能力和系统可靠性。

本申请实施例涉及一种常开型晶体管及其制备方法，其中，常开型晶体管包括：衬底，具有第一导电类型；位于衬底内的第一漂移区、源极区和漏极区，第一漂移区的位于源极区和漏极区之间的部分用于形成沟道，第一漂移区、源极区和漏极区均具有不同于第一导电类型的第二导电类型；栅极结构，位于源极区和漏极区之间，用于控制沟道的导通与关断；第二漂移区，位于第一漂移区内且与源极区的距离小于与漏极区的距离，第二漂移区具有第二导电类型，第二漂移区的离子掺杂浓度大于第一漂移区的离子掺杂浓度。如此，在维持较高的击穿电压的同时，保障在实际应用中，当漏极端电压升高时，源极端的电压变化较小，从而保障电路功能的正常实现。