苏州矽微电子科技有限公司

本发明公开一种双线检测换片设备，包括检测机构、上料机构和下料机构，检测机构包括并排设置的第一传输线和第二传输线以及设置于两条传输线路径上的检测装置，传输方向前端形成上料工位，后端形成下料工位，上料机构通过上料装置、进料装置和具有两种工作状态的前移载装置，将第一料盒中的晶舟选择性地送入第一传输线或第二传输线，下料机构通过具有两种工作状态的后移载装置和出料装置，将完成检测的晶舟自第一传输线或第二传输线转送至第二料盒，本发明提供的双线检测换片设备能够实现晶舟在双线间的分流检测与合流下料，有利于提高移载与检测衔接效率，提升整体换片效率。