泉意光罩光电科技（济南）有限公司

本申请提供了一种掩模版图像的周期信息提取方法、电子设备及存储介质，其中，该方法包括：获取掩模版图像，根据掩模版图像生成横轴误差位移曲线以及纵轴误差位移曲线，根据横轴误差位移曲线以及纵轴误差位移曲线，判断掩模版图像是否为无规则晶圆的图像，若否，则根据横轴误差位移曲线以及纵轴误差位移曲线，判断掩模版图像是否为芯片阵列的图像，若是，则根据横轴误差位移曲线，确定掩模版图像的横轴周期信息，并根据纵轴误差位移曲线，确定掩模版图像的纵轴周期信息。本申请无需人工介入，弱化图像噪声以及纹理干扰，降低运算量，输出的周期信息可直接用于缺陷检测设备搭建芯片间比对检测。