华芯程（上海）科技有限公司

本申请公开了一种矢量化多边形轮廓提取方法、装置、存储介质及电子设备，本申请涉及掩膜图像处理技术领域。其中，该矢量化多边形轮廓提取方法包括获取逆向光刻优化输出的灰度图像，对灰度图像进行前景像素提取和连通区域分析，得到一个或多个前景连通区域；对各前景连通区域进行骨架化处理，提取单像素宽度的骨架路径；根据各前景连通区域的面积与对应骨架路径的长度，计算各前景连通区域的区域宽度；将各骨架路径分别转换为由水平线段与垂直线段构成的曼哈顿风格折线；基于曼哈顿风格折线和区域宽度，对曼哈顿风格折线进行双向膨胀处理，生成闭合的矢量化多边形轮廓。本申请可以提高掩膜制造的成品率和可靠性。