一种用于三氯氢硅精馏提纯工艺及其装置

本发明公开了一种用于三氯氢硅精馏提纯工艺及其装置，属于化工精馏技术领域，包括罐体；罐体内设有用于自适应出气的塔板组件，相邻的塔板组件对立设置；塔板组件包括圆板、下料通道、溢流通道、调节式电动出气组件和自适应电流控制组件，圆板一端开设的溢流口上下端分别与溢流通道和下料通道固定连接，且下料通道和溢流通道相通，上面的圆板连接的下料通道位于下面的圆板另一端上端，自适应电流控制组件位于圆板下方，自适应电流控制组件与罐体相通固定连接；罐体侧壁相通固定连接有用于过滤的自清洁过滤组件。本发明避免圆板上的液体通过调节式电动出气组件直接下落至下方的圆板，避免漏液现象，即使气、液两相负荷有较大的波动时保证了塔板效率。