四氯化硅加氢催化剂及其制备方法和应用

本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体公开了一种四氯化硅加氢催化剂及其制备方法和应用。该催化剂包括：碳纳米管基体和负载于所述碳纳米管基体表面的铜硅合金；以及，碳纳米管基体还包含过渡金属填充相，过渡金属填充相以连续或非连续的纳米线形态存在于碳纳米管基体的内部空腔内。采用该催化剂应用于冷氢化工艺中，具有较高的四氯化硅转化率。