一种超声换能器及其制备方法

本发明实施例公开了一种双层压电薄膜超声换能器及其制备方法。该超声换能器包括底硅层，底硅层包括振膜区和电极引出区；振膜区包括在厚度方向上层叠设置的第一压电陶瓷单元和第二压电陶瓷单元；第一压电陶瓷单元和第二压电陶瓷单元均包括底电极、压电陶瓷薄膜和顶电极；第一压电陶瓷单元的顶电极和第二压电陶瓷单元的底电极复用。本发明实施例所提供的一种双层压电薄膜超声换能器及其制备方法，通过采用双层压电薄膜并复用电极的结构，在保持振膜整体刚度与谐振频率基本不变的前提下，提升了换能器的收发灵敏度，解决了传统单层结构因驱动电场受限而导致的机电转换效率不高的问题。