一种Y位掺杂的YOF陶瓷热喷涂粉末及其制备方法

本发明公开了一种Y位掺杂的YOF陶瓷热喷涂粉末及其制备方法，涉及中熵陶瓷材料技术领域。所述Y位掺杂的YOF陶瓷热喷涂粉末的化学式为(YEuYbSm)OF。本发明通过对YOF陶瓷进行Y位中熵化设计，将化学性质相似、离子半径相近的4种元素等摩尔比掺杂到YOF陶瓷的Y位晶格中，从而引起了YOF晶格畸变效应，使其混乱度增加，提升YOF陶瓷的耐腐蚀性能。将本发明的Y位掺杂的YOF陶瓷热喷涂粉末喷涂到静电卡盘表面后可显著降低静电卡盘的刻蚀速率，提高其耐腐蚀性，相比较喷涂YOF陶瓷热喷涂粉末的静电卡盘，刻蚀速率可降低4.2nm/min。