一种低沉积温度前驱体配体及其合成方法

本发明公开了一种低沉积温度前驱体配体及其合成方法，属于半导体领域，其步骤为：向耐压夹套反应釜中加入预先合成的低沉积温度前驱体配体的中间体前体溶液，然后加入提前配制的胺溶液，升温至目标温度反应，仲胺或伯胺对环氧化合物开环，将产物萃取、分液、提纯之后得到低沉积温度前驱体配体。本发明拓展了仲胺或伯胺对环氧化合物开环合成氨基醇的合成底物，并且无需路易斯酸或碱性催化剂，操作简易，合成釜效高；同时，通过制造高压的条件，极大地缩短了反应时间，避免了仲胺或伯胺挥发。