検索に戻る
案件記録
一种电子级三（二甲氨基）硅烷的生产工艺
発明有効
10請求項 · 1 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
顾二形; 宋福全; 李辉如; 卢志国; 王波; 余成玉
IPC分類
C07F 7/10 (2006.01)C07F 7/20 (2006.01)B01J 31/22 (2006.01)B01J 37/02 (2006.01)B01J 37/00 (2006.01)B01J 23/42 (2006.01)
本发明涉及有机化学合成领域，公开了一种电子级三（二甲氨基）硅烷的生产工艺，包括以下步骤：S1：硅烷经分子筛脱水至水分≤1ppm，金属杂质≤5ppb；二甲胺气体通过‑30℃深冷捕集器去除重组分杂质；S2：在耐压反应釜中，利用催化剂催化硅烷与二甲胺反应：S3：①初级精馏：60℃减压蒸馏，压力≤10kPa，去除低沸物；②吸附纯化：经3A分子筛与活性炭复合床层，脱除微量水分及有机物，制备得到电子级三（二甲氨基）硅烷，本发明制备的产品纯度≥99.999%，金属杂质≤50ppb，氧含量≤20ppm，且收率提升至97%以上，能耗降低40%，适用于半导体ALD/CVD工艺前驱体。
ログインして全文を読む
請求項 1 を表示しています。無料登録で全 10 項の請求項、明細書全文、全図面、翻訳、法的状態を閲覧できます。
- 全請求項
- 技術分野
- 背景技術
- 発明の概要
- 発明を実施するための形態
外部リソース